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    晶(jīng)圆检测设备

    产品简介

    采用高分辨(biàn)率(lǜ)成像的明(míng)暗场晶圆(yuán)表(biǎo)面检测,基于图像算法、检测模型和良品异常(cháng)检测三种模式,检出(chū)晶圆表面缺陷,并提供数据(jù)统计(jì)分析

    2D检测精(jīng)确度
    um

    1

    UPH
    pcs/h

    60

    漏检率
    ppm

    ≤50

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