采用高分辨(biàn)率(lǜ)成像的明(míng)暗场晶圆(yuán)表(biǎo)面检测,基于图像算法、检测模型和良品异常(cháng)检测三种模式,检出(chū)晶圆表面缺陷,并提供数据(jù)统计(jì)分析
2D检测精(jīng)确度
um
1
UPH
pcs/h
60
漏检率
ppm
≤50
先进算法储(chǔ)备
AI大模(mó)型与(yǔ)小模型融合,支(zhī)持基(jī)于良品(pǐn)和不良(liáng)品(pǐn)的模型训练方式,支持基于大模型的智慧(huì)标注和(hé)样本生成(chéng),解决样本不均(jun1)衡场景下(xià)的快速上线,支持增量(liàng)学习模式,控(kòng)制样本集规模,提高模型迭(dié)代速度,支(zhī)持并行、并发(fā)的处(chù)理模式(shì)
数据统计和(hé)分(fèn)析功能
用(yòng)于检测和(hé)生产过程(chéng)中的数据统(tǒng)计,提供多(duō)种看板模(mó)版;针对(duì)指定缺陷种类或者(zhě)指(zhǐ)定时间(jiān)段,提供多(duō)种良率统计方式(shì);提供多种数据保存接(jiē)口,生产过(guò)程(chéng)可(kě)追溯(sù);针对工(gōng)业(yè)场景特点,支持灵活自(zì)由(yóu)配置显示单元(yuán)、统计指(zhǐ)标(biāo)、结果查询、导出、上传逻辑;集成统一、可(kě)视化(huà)的多机位硬件接口(kǒu)调试(shì)工具,使调试过(guò)程更加便捷
算法特色
在复杂背景影像中。我们依然可以(yǐ)将污染正(zhèng)确检出(chū);可以将特定特征(zhēng)瑕疵(cī)给予(yǔ)消除; 自动产生针痕屏蔽。消除针(zhēn)痕位置,抓取针(zhēn)痕外的瑕(xiá)疵